Bikaranînî
Sêwirana hemî-yek-yek, avahî û şekilek jîr. Serê skankirinê û qonaxa nimûneyê bi hev re têne sêwirandin, performansa dijî-vibrasyonê ya bihêz. Amûra vedîtina lazerê ya rast û berhevkirina sondajê verastkirina lazerê sade û hêsan dike. Servomotorê biguhezînin ku nimûneya ku bi destan nêzîk dibe an jî bixweber, ji bo têgihîştina pozîsyona devera şopandinê ya rast. Amûra veguheztina nimûneyê bi rastbûna bilind û rêjeyek mezin dihêle ku her devera balkêş a nimûneyê bişopîne; Cûreyên cûda yên skaner di rastbûn û mezinahiya şopandinê de hewcedariyên xerîdar ên cihêreng bicîh tîne; pergala çavdêriya optîkî ji bo kontrolkirina tîp û nimûneyê pozîsyona.Pergala çavdêriya CCD ji bo çavdêrî û pozîsyona devera nimûneyê ya rast-dem;Servomotor bikar bînin da ku xwe bigihînin CCD-ya xwe-fokuskirinê Pergala elektronîkî ji bo parastin û pêşkeftinê wekî modular û hêsan hatî sêwirandin. Ji bo pêşkeftina bêtir bi gelek awayên xebatê ve elektronîk kontrol dikin.
Taybetmendiyên sereke
1. Serî û qonaxa nimûneyê bi hev re têne sêwirandin, performansa dijî-vibrasyonê ya bihêz
2. Amûra verastkirina lazerê ya rastîn û hevrêzkirina sondajê verastkirina lazerê hêsan û hêsan dike;
3. Servomotorê biguhezînin da ku nimûneya nêzîkbûna tîpa bi destan an bixweber bişopîne, da ku pozîsyona devera şopandina rast fêm bike.
4. Amûra veguheztina nimûneyê ya rastbûna bilind û mezin dihêle ku her devera balkêş a nimûneyê bişopîne;
5. Pergala çavdêriya optîkî ya ji bo kontrolkirina tîp û pozîsyona nimûneyê.
6. Pergala elektronîkî ji bo parastin û pêşkeftina pêşdetir wekî modular û hêsan hatî çêkirin.
7. Biharê ji bo veqetandina vibrasyonê, performansa hêsan û baş bipejirînin.
Specification
Emelî | Moda pêwendiyê, moda pevçûnê, | Goşeya şopandinê | Bêpayîn |
Mezinahiya nimûneyê | Ø≤90mm, H≤20mm | Tevgera Nimûne | 0 ~ 20 mm |
Max.scan | X/Y: 20μm, Z: 2μm | Firehiya pêlê ya motora nêzîkbûnê | 10±2 ms |
Resolution | X/Y: 0,2 nm, Z: 0,05 nm | Sîstema optîkî | Mezinbûn: 4x, |
Rêjeya şopandinê | 0,6Hz~4,34Hz | xalên daneyan | 256×256,512×512 |
Scanning | XY: 18-bit D/A, Z: 16-bit D/A | Cureyê bersivê | Bersiva dîjîtal DSP |
Sampling Data | Yek 14-bit A/D û du qat 16-bit A/D çend-kanal bi hevdemî | ||
girêdana PC | USB2.0 | Rêjeya nimûneya Feedback | 64.0KHz |
Windows | Bi Windows 98/2000/XP/7/8 re hevaheng e |
Rêzan
GB / T 2985-1991
Wêneyên rastîn